Penelitian ini dilakukan untuk mengembangkan instrumen yang valid dan andal untuk menilai kinerja berdasarkan keterampilan proses sains pada percobaan getaran harmonik. Langkah-langkah keterampilan proses sains yang digunakan meliputi (1) Mengamati, (2) Mengajukan pertanyaan, (3) Merancang eksperimen, (4) melakukan eksperimen, (5) Menerapkan konsep, (6) Menganalisis data, dan (7) Mengkomunikasikan . Tahap penyusunan desain dilakukan di STMIK Muhammadiyah Jakarta pada bulan Agustus-Desember 2021. Pada tahap uji coba dilakukan pada siswa kelas X di SMA Bintara.

Penelitian ini menggunakan model ADDIE yang terdiri dari tahapan analisis, perancangan, pengembangan, implementasi, dan evaluasi. Pengumpulan data validasi instrumen penilaian kinerja menggunakan instrumen penilaian skala likert. Hasil penelitian pengembangan ini berupa instrumen penilaian berbasis keterampilan proses sains pada materi getaran harmonik. Instrumen penilaian ini telah tingkat uji validasi untuk aspek konstruksi instrumen, materi dan bahasa, hasil rata-rata ketiga aspek tersebut adalah 76,7 dan berada pada kategori baik menurut penilaian (75 – 79). Hasil uji coba lapangan oleh 32 siswa SMA Bintara menunjukkan tingkat validasi dan reliabilitas yang sangat tinggi. Uji validitas menggunakan 35 item instrumen penilaian yang diujikan pada siswa, 31 item instrumen penilaian yang valid dan 4 item instrumen penilaian yang tidak valid. Butir penilaian yang tidak valid perlakuan yang diberikan adalah drop. Uji reliabilitas menggunakan cronbach's alpha, didapatkan hasil r hitung 0,865 dengan rtabel 0,335, sehingga rhitung > rtabel dengan taraf signifikansi 5%. Dari hasil penelitian ini dapat dikatakan bahwa instrumen layak digunakan sebagai instrumen penilaian dalam kegiatan pembelajaran fisika pada materi getaran harmonik.